«Росэлектроника»: мы разработали первую в РФ технологию производства монокристаллов карбида кремния

    557

    ОАО «Светлана» впервые в России разработало промышленную технологию производства монокристаллов и полуизолирующих подложек карбида кремния для создания сверхвысокочастотной электронной компонентной базы, сообщает пресс-служба холдинга «Росэлектроника» госкорпорации Ростех, куда входит предприятие.

    Подложки могут быть использованы для создания пленок графена, которые считаются наиболее перспективным материалом в качестве основы компонентной базы будущей микроэлектроникии — возможной заменой кремния в интегральных микросхемах.

    Сравнение параметров разработанных подложек с параметрами американских аналогов показывает, что продукция ОАО «Светлана» находится на мировом уровне, например, американского аналога Grade M (для военных применений), и существенно превышают параметры Grade R&D (для исследовательских целей).

    Объем финансирования разработок составил 285 миллионов рублей, в том числе 190 миллионов рублей – за счет федерального бюджета, 95 миллионов – из собственных средств.

    В настоящее время ОАО «Светлана» готово начать поставки подложек полуизолирующих карбида кремния политипа 6Н диаметром 3 дюйма для российских потребителей, при этом цены подложек существенно ниже, чем у других производителей.

    Оговорка «для российских потребителей» имеет значение. Как сообщала D-Russia.ru президент Некоммерческого партнерства «Содействие микроэлектронной промышленности» Карина Абагян, наличие зарубежных заказчиков – ключевой фактор снижения себестоимости продукции «Светланы».

    По словам Абагян, промышленная технология производства монокристаллов и полуизолирующих подложек из карбида кремния – важное событие, эта технология сложна в реализации и действительно позволяет производить сверхвысокочастотные чипы. Но это не единственная и не самая перспективная технология для производства сверхвысокочастотных микроэлектронных элементов – ее недостаток, в частности, состоит в размере пластины. Современный промышленный стандарт – не 3, а 6 дюймов.

    roselectronika

    Подложки карбида кремния
    Подложки карбида кремния